光舵微纳完成数千万元B轮融资，纳米压印设备量产出货AR全息衍射光波导领域头部客户

纳米压印技术领先企业——光舵微纳于近期完成由汇川产投领投，致道资本跟投的数千万元股权融资。此次融资将有助于光舵微纳加快新产品研发及市场开拓，从而进一步确立其在纳米压印技术领域的领先地位。

发明于上世纪90年代中期的纳米压印（Nano Imprint Lithography，NIL）技术是利用机械模具微复型原理在基板上制备微纳结构的技术。该技术克服了光刻技术中由于衍射导致的分辨率限制，具有超高分辨率、易量产、低成本、一致性高的优点，可应用于LED照明、平板显示、生物技术、太阳能电池、光学等领域。NIL技术是微纳加工领域的一项关键底层技术，在国际半导体蓝图（ITRS）中，该技术被列为下一代半导体加工技术的重要代表之一。

作为国内领先的纳米压印技术完整方案提供商，光舵微纳经过多年的研发及市场应用推广，制作出了多款研发型纳米压印设备及全自动量产型纳米压印设备，实现了设备、耗材及工艺的全方位突破。

光舵微纳在LED图形化衬底产业（LED-PSS）处于绝对的技术及市场领先地位，设备及耗材已在客户端实现超过2000万片LED-PSS的大规模稳定量产，在此应用场景上实现了对尼康光刻机的产业化替代，并处于快速扩张阶段；

光舵微纳全自动量产型纳米压印设备

基于纳米压印制作的LED-PSS图形

在即将实现爆发式增长的AR全息衍射光波导领域，光舵微纳已推出独具特色的模板拼接设备及全自动量产设备，已实现对多家头部客户的销售。

模板拼接后压印的AR全息衍射光波导

在WGP、生物检测、光学微构器件等诸多重大的新兴应用领域，光舵微纳皆已实现一定的产业化突破，目前已建立起具有刻蚀能力的中试研发线，可以为客户提供一站式的工艺研发及验证服务。

纳米压印制作的WGP光栅结构

此次融资完成后，光舵微纳将继续提升其核心研发团队的技术实力，积极研发应用于多个重要场景的高端纳米压印设备并进行广泛的市场开拓，推进NIL技术在更多应用领域的导入，打造从产品、系统到整体解决方案的商业模式，助力我国半导体制造产业的高速发展。

文章来源：光舵微纳

光舵微纳将在艾邦举办的2022年AR/VR产业链高峰论坛（5月27日 深圳）上进行《纳米压印技术应用于AR光栅制作》主题演讲，欢迎大家用微信扫描下方图片咨询并报名，共聚深圳，一起交流！

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