天仁微纳：纳米压印一站式解决方案引领者，推动全球AR产业新发展

7月4日，天仁微纳将在第六届AR产业发展论坛上做展台展示，届时将展示纳米压印一站式解决方案等。

青岛天仁微纳科技有限责任公司是一家专注于纳米压印技术研发与产业化的高新技术企业，致力于为全球客户提供高精度、高效率的微纳制造一站式解决方案。公司凭借自主研发的核心技术和先进的制造能力，已成为国内纳米压印领域的领头羊，并逐步在国际市场占据重要地位。

天仁微纳总部位于青岛，建有1600平方米超净间和专业化研发中心，包括百级、千级和万级等级，设备近百台，总投资数亿元。设备包含30多台天仁微纳自产各种型号的纳米压印设备，除此之外，各种压印工艺配套、表征设备齐全，包括晶圆全自动RCA、有机清洗、Plasma、HMDS、模具抗粘处理等预处理设备；纳米压印模具制造设备包含电子束光刻、激光直写、mask aligner、激光干涉曝光、ICP、RIBE、去胶机、ALD、电铸翻模、晶圆键合等；表征设备包括SEM、AFM、共聚焦、FIB、椭偏仪、膜厚仪、台阶仪、水滴角测试仪等。

天仁微纳中试平台的目标是让客户以极低的成本将使用纳米压印相关技术的创新产品想法在该平台得以实现，从prototype到产品中试，验证天仁微纳纳米压印设备性能，为客户未来的产品量产打通最后一公里。

天仁微纳自研设备远销欧美、日韩等市场，与全球顶尖科研机构及企业建立战略合作。产品广泛应用于光电子（AR/VR衍射光波导、微透镜阵列）、显示领域、车载光学、LED PSS、生物医疗（纳米流体芯片、生物传感器）、新能源（光伏电池纳米结构增透膜）等领域。

天仁微纳凭借其卓越的技术实力和创新精神，为AR衍射光波导的大规模量产提供完善的设备解决方案。其设备在性能、精度、稳定性等方面均表现出色，其一站式服务与强大的技术支持，更是为客户的高效生产与持续创新提供了坚实保障，深受行业认可，凭借这些全方位的优势，稳稳占据了市场绝对主导地位。

GL 300 Cluster Gen2 全自动纳米压印光刻生产线

GL 300 Cluster Gen2是功能强大的全自动纳米压印光刻生产线，它集成了从纳米压印晶圆预处理工艺，直至纳米压印光刻全套工艺步骤，设备可选择inkjeting和spin coating功能。标配天仁微纳压印技术，可实现200/300mm晶圆基底和300*300mm方片基底（全球首台）全自动高精度(优于10nm*)、高深宽比(优于10:1*)纳米结构复制量产，产能可达40WPH。该设备适用于DOE、AR/VR衍射光波导(包括斜齿光栅)、线光栅偏振、超透镜、生物芯片、LED、微透镜阵列等应用领域的大规模量产。

GL SR-V 真空步进式纳米压印光刻设备

GL SR-V是天仁微纳全自动步进式高精度纳米压印光刻设备，可高效地进行母模具制作或在基底上进行复杂结构的直接图案化，设备可选择inkjeting和spin coating功能，拼版单元尺寸可灵活定义，轻松应对各种母版由小转大需求，最大可拼接500mm×500mm，天仁微纳面板级step and repeat设备，可拼接6代线1850mm×1500mm，大大降低纳米压印光刻母模具的制作成本，使低成本纳米压印生产成为可能，GL SR-V纳米压印光刻设备可用于生产适配于天仁微纳全自动纳米压印光刻生产线设备（GL300 Cluster）所需的大幅面母模具，以此实现AR/VR，衍射光学器件，超表面和生物芯片的高效率大批量生产。

第六届AR产业链发展论坛以AR+AI为主题，将聚焦AR眼镜发展、AI技术升级，以及创新材料、技术和工艺，分享先进技术发展，未来技术展望，难点技术克服等，小米、华为、亮亮视野、SONY、歌尔、立讯精密、亿境虚拟、瑞声科技、致敬未知、广纳四维、莫界科技、光峰科技等企业单位将参加本次论坛。

时间：2025年7月4日

地点：深圳·观澜格兰云天国际酒店

会议详情：【邀请函】第六届AR产业发展论坛（7月4日深圳）

艾邦建有AR/VR产业链微信群，目前有HTC、PICO、OPPO、亮亮视野、光粒科技、影创、创维、佳视、歌尔、立讯精密、多哚（纳立多）、欣旺达、耐德佳，联创电子、至格科技、灵犀微光、舜宇光学、广景视睿、珑璟光电、京东方、海信视像、科煦智能、阿科玛、金发科技、思立可、新安天玉、四方超轻、大族激光、发那科、承熹机电等加入，也欢迎大家长按下方图片识别二维码加入微信群：